仪器介绍：

HG-ZKG真空管式马弗炉设计用于1100℃或1700℃以下CVD工艺。采用开启式设计，方便样品操作及炉管更换。高纯电阻丝内嵌在轻质陶瓷纤维材料中，周边拓展系统齐全，适合高校、科研院所实验之使用。

仪器特点：

u*高温度1100℃、1700℃。
u分体式设计，降温速率快。
u工作管径范围60mm—100mm。
u高纯气炼石英管或者高纯陶瓷管。

u轻质陶瓷纤维隔热材料，耐热冲击性好，蓄热低。
u快速升温，升温速率可达10℃。
u半导体继电器控制加热元器件，控温*，寿命长，无噪音。
u多段程序控温，PID调节，可编制多种升降温程序。
u超温保护功能，超温自动断电。

可选配置：
u真空泵
u多区控温，两温区YMG(2)系列或三温区YMG(3)系列（如下图）
u瑞典kanthal 电热丝

u数显真空计（高精度显示真空值）

u多路气氛混气系统（浮子流量计或质量流量计）

u无纸纪录仪（带通讯端口）

技术参数：

注：1、*高温度为管外测量，工作管内温度低约50℃。

    2、非标管径、加热区长度可根据客户工艺要求定制。